ОСОБЛИВОСТІ ВИМІРЮВАННЯ ЕЛЕКТРИЧНОГО ОПОРУ ВІЛЬНОСПЕЧЕНИХ КОМПОЗИТІВ AlN–50% SiC
Анотація
Досліджено електричний опір вільноспечених керамічних композитів AlN–50% SiC, придатних для використання у якості об’ємних поглиначів мікрохвильового випромінювання. Об’ємний і поверхневий електричний опір композитів виміряли цифровим мультиметром UT 30D та цифровим мегаометром ВМ 500А. З цією метою розроблена двозондова методика вимірювання поверхневого опору малих за розміром зразків Æ4,2×1,0 мм з композита. Виготовлено комплект пристроїв для нанесення чотирьох пар контактних площадок Æ0,6 мм на поверхню диска та його надійного закріплення під час вимірювання поверхневого електричного опору.
Для трьох груп дисків з різною добротністю Q = 44, 55 та 70 визначені середні значення поверхневого опору складають: 136, 212 та 300 кОм, а відповідні їм середні значення об’ємного опору становлять: 7,0; 9,2 та 11,8 кОм. Аналіз масиву експериментальних даних виявив взаємозв’язок між поверхневим та об’ємним електричним опором: більшому об’ємному опору відповідає більший поверхневий опір, причому поверхневий опір більший за об’ємний у 19,4–25,4 рази.