МОДЕРНІЗОВАНА УСТАНОВКА ВУ 700 ДЛЯ НАПИЛЕННЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВАКУУМНИХ ПОКРИТТІВ

Анотація

Проведена модернізація вакуумної установки ВУ 700 для нанесення функціональних покриттів, у тому числі багатошарових та багатокомпонентних, з використанням системи мікроелектродугового розпилення, що включає три лінійні дуготрони та лінійний магнетрон. Установка оснащена обладнанням для проведення катодно-іонного бомбардування поверхонь виробів перед нанесенням покриття та подачі відповідного потенціалу зміщення при напилені покриття. Чотири катоди установки дозволяють отримувати покриття широкого спектру, як простих одношарових, так і багатошарових та багатокомпонентних. Показники роботи модернізованої установки розглядалися при формування покриття з титану та багатокомпонентного жаростійкого сплаву. Для умов використання лінійного дуготрону з титану встановлено діапазон напруг зміщення щільність іонного току та показано вплив цієї напруги на імовірність виникнення мікродугових розрядів на поверхні виробу та її ерозію, запропоновано використання імпульсного ВЧ блоку зміщення. Для умов використання катоду зі сплаву NiCrAlY  визначено оптимальну величину току дуги (90–120 А) та досліджено швидкість сканування катодного п’ятна при використанні встановленого обладнання.