ВПЛИВ ТЕПЛОПРОВІДНОСТІ ПРЕКУРСОРІВ І ЇХ РОЗЧИННИКІВ НА ТЕПЛОВИЙ СТАН КОМІРКИ АПАРАТА ВИСОКОГО ТИСКУ ПРИ КРИСТАЛІЗАЦІЇ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ СПОЛУК СИСТЕМИ AIIIBV

Олексій Людвіченко; Олександр Лєщук; Сергій Гордєєв; Олександр Анісін

Олексій Людвіченко Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НAH України
Олександр Лєщук Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НAH України
Сергій Гордєєв Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НAH України
Олександр Анісін Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НAH України

Ключові слова: розчинник, кристалізація InGaN, апарат високого тиску (АВТ), комірка, тепловий стан, комп’ютерне моделювання

Анотація

За допомогою комп’ютерного моделювання досліджено тепловий стан комірки апарата високого тиску (АВТ), призначеної для вирощування кристалів InGaN. Розглянуто три типи розчинників: Fe, Fe₃N та CoCr. Проаналізовано вплив використання підкладки з Al₂O₃ на розподіл температури та градієнта температури в комірці. Встановлено, що застосування підкладки з Al₂O₃ зменшує значення ΔT_max, ΔT_z та gradT для всіх розглянутих випадків. Мінімум неоднорідності температурних полів досягається при використанні розчинника CoCr у поєднанні з підкладкою Al₂O₃ (ΔT_max = 45 °С, ΔT_z = 15 °С; gradT = 0,1–6,8 °С/мм). У випадку використання розчинника Fe₃N необхідно модернізувати електрорезистивну систему АВТ, оскільки за розрахунками gradT перевищує 10 °С/мм.