ВЛИЯНИЕ ДИСПЕРСНОЙ СИСТЕМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ПОЛИРОВАНИЯ СТЕКЛА, СИТАЛЛОВ, ОПТИЧЕСКИХ И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ

Аннотация

Целью данного исследования является изучение закономерностей влияния свойств дисперсной системы на показатели полирования оптического стекла, ситаллов, оптических и полупроводниковых кристаллов. На основе кластерной модели съема обрабатываемого материала при полировании показано, что производительность полирования и высотные параметры шероховатости обработанной поверхности зависят от концентрации частиц шлама, образующихся при полировании, которая зависит от среднего значения потенциала взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью. Учет функции распределения частиц шлама по площадям их поверхности и площади контакта зерна полировального порошка с обрабатываемой поверхностью дает возможность определить потенциал взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью в зависимости от константы Лифшица, которая зависит от электрических и оптических характеристик обрабатываемого материала и дисперсной полировальной системы, а также толщины промежутка между элементарными участками контактных поверхностей обрабатываемой детали и притира, которая зависит от реологических свойств полировальной суспензии и режимов обработки. В результате исследований установлено, что свойства полировальной дисперсной системы существенно влияют на интенсивность удаления обрабатываемого материала при полировании оптического стекла, ситаллов, оптических и полупроводниковых кристаллов, а также на шероховатость обработанной поверхности. Результаты исследования целесообразно использовать при разработке процессов нанополирования неметаллических материалов, а также при последующих исследованиях закономерностей химико-механического полирования сверхгладких поверхностей. Практическое значение и ценность полученных результатов заключается в общем подходе к межмолекулярному взаимодействию конденсированных сред