ВЛИЯНИЕ РЕОЛОГИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ДИСПЕРСНОЙ СИСТЕМЫ НА ПОКАЗАТЕЛИ ПОЛИРОВАНИЯ ПОДЛОЖЕК ИЗ СИТАЛЛА

Аннотация

Целью данной работы является изучение закономерностей влияния реологических свойств дисперсной системы на параметры процесса полирования ситалловых подложек. На основе кластерной модели удаления обработанного материала при полировании и теории Дерягина-Ландау- Фервея -Овербека показано, что среднее значение потенциала взаимодействия зерен полировального порошка с обрабатываемой поверхностью и концентрация частиц шлама в зоне контакта зерна полировального порошка с обрабатываемой поверхностью с учетом их распределения по площади поверхности существенно зависит от толщины зазора между элементарными участками контактных поверхностей детали и притира, которая определяется в зависимости от режима полирования (номинальное давление прижима детали к притиру и относительная скорость их перемещения), коэффициентов поверхностного натяжения и динамической вязкости дисперсной системы, углов смачивания дисперсной системой соответственно поверхности детали и притира. Установлено, что реологические характеристики полирующей дисперсной системы несущественно влияют на интенсивность удаления обработанного материала с поверхности при полировании и незначительно влияют на шероховатость обработанной поверхности. При полировании подложек из ситалла СТ-50-1 достигается высокая производительность удаления обрабатываемого материала и низкая шероховатость обработанной поверхности, что удовлетворяет требованиям для ситалловых подложек.